一、淨(jing)化防護(hu)環境
空(kōng)氣中充(chōng)滿灰塵(chen)粒子,而(er)這些灰(huī)塵粒子(zi)除了影(yǐng)響💛産品(pin)外觀🔱,還(hái)會在半(bàn)導體中(zhong)形成導(dǎo)電。因此(ci),淨化工(gong)程技術(shù)在微電(dian)子技術(shu)中起着(zhe)十分重(zhong)要的作(zuò)用,根🔞據(ju)産品不(bú)同,生産(chan)流程中(zhong)須建立(li)不同級(ji)别的淨(jìng)化室。此(cǐ)外,光纖(xian)工業、液(ye)晶顯示(shi)工業、生(shēng)物工程(chéng)、醫藥工(gong)業也對(dui)淨利化(hua)技術及(jí)産品有(yǒu)巨大的(de)需求。
二(èr)、防靜電(diàn)環境
産(chan)品的移(yí)動、摩擦(cā)及空氣(qì)的流動(dong)均可能(néng)産生上(shang)萬伏高(gāo)壓電荷(he),形成靜(jìng)電。在所(suǒ)有的半(bàn)導體生(sheng)産領域(yù),由于靜(jing)電的負(fu)㊙️面效應(yīng),使🈲得保(bǎo)持高水(shuǐ)準的産(chan)品質量(liàng)和成💰品(pin)率變得(dé)更加困(kun)難。缺少(shǎo)靜電控(kòng)制,将導(dǎo)緻微粒(lì)污染,靜(jing)電放電(dian)損壞和(hé)設備故(gù)障。随着(zhe)電子産(chǎn)業向高(gāo)度集成(cheng)化、精密(mì)化的發(fā)展,防靜(jìng)電技術(shu)成爲電(dian)子制造(zào)業重點(diǎn)關注的(de)技術之(zhī)一。
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